ASML과 EUV 독점시대, 일본이 깬다? 일본의 5나노급 노광기술 NIL에 대해
나노임프린트리소그래피시스템 일본 캐논에서 내놓은 차세대 노광장비의 이름입니다.
재밌는 사실은 이 새로운 캐논의 노광장비는 레거시 시장이 아닌 최선단 공정 시장을 정조준하고 있다는 것 정말 뜬금 없지만 캐논이 밝히고 있는 해당 장비로 구현 가능 공정의 수준이 5nm급 이라는 것인데요
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